- フォトリソグラフィ工程における簡易露光焼付装置
- 卓上型・一体型のため省スペース
- マイコン搭載により、照射時間を正確に制御
本機はUVL-3へモデルチェンジしました。
UV露光機 UVL-2【生産終了】
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| 商品名 | UV EXPOSURE EQUIPMENT |
|---|---|
| 型式 | UVL-2 |
| 光源 | 超高圧水銀ランプ |
| 放射照度[mW/㎠] | 20 |
| 光束 | 100 x 100 (有効80 x 80) ※平行光線ではありません |
| 照度ムラ[± %] | 8 |
| 露光時間 | 0.5 - 99.9 |
| 試料台 | 固定式・平面微調機構付き |
| 試料サイズ[mm x mm] | 100 x 100 |
| マスクサイズ[mm x mm] | 70 x 70 |
| 試料固定 | ストッパー突き当て方式 |
| 通信I/F | RS-232C |
| 電源電圧 | AC100V 50/60Hz |
| 消費電力[VA] | 700 |
| 動作環境 | ・温度 : 5 - 35[℃]・湿度 : 80[％]以下 但し、結露なきこと |
| 寸法(WxHxD)[mm] | 350 x 790 x 350 |
| 重量[kg] | 30 |
