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UV露光機 UVL-2

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  • フォトリソグラフィ工程における簡易露光焼付装置
  • 卓上型・一体型のため省スペース
  • マイコン搭載により、照射時間を正確に制御

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型式 UVL-2
光源 超高圧水銀ランプ
強度[mW/㎠] 20
光束 100 x 100 (有効80 x 80)
照度ムラ[± %] 8
露光時間 0.5 - 99.9
試料台 固定式・平面微調機構付き
試料サイズ[mm x mm] 100 x 100
マスクサイズ[mm x mm] 70 x 70
試料固定 ストッパー突き当て方式
通信I/F RS-232C
電源電圧 AC100V 50/60Hz
消費電力[VA] 700
動作環境 ・温度 : 5 - 35[℃]
・湿度 : 80[%]以下 但し、結露なきこと
寸法(WxHxD)[mm] 350 x 790 x 350
重量[kg] 30
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