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UV露光装置 UVL-3

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  • フォトリソグラフィ工程における簡易露光焼付装置
  • 卓上型・一体型のため省スペース
  • カラー液晶と十字キーを装備
  • 照射時間を正確に制御

【操作手順】
①電源を入れてランプを点灯
②ランプ安定後に、放射照度を調整・登録
③露光時間を設定
(放射照度×時間で露光量を表示)
④露光
時間露光の場合は自動でシャッター開閉
手動露光の場合は、露光量を見ながら手動でシャッター開閉

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商品名 UV露光装置
型式 UVL-3
光源 超高圧水銀ランプ 250W
放射照度[mW/㎠] 常用:20 - 22
最大:24
照度面(WxH)[mm] 照射範囲:φ155
有効:φ113 mm
照度ムラ[± %] 有効面内にて 8
表示・操作 ・本体操作
・外部通信制御
露光時間 0.1 - 99.9 (最大99時間)
試料台 固定式・平面微調機構付き
試料サイズ[mm x mm] 100 x 100
通信I/F コネクター:USB 2.0 Type-B
通信:仮想COMポートによるUART
電源電圧 AC100V 50/60Hz
消費電力[VA] 450
動作環境 ・温度 : 5 - 35[℃]
・湿度 : 80[%]以下 但し、結露なきこと
寸法(WxHxD)[mm] 422.5mm(W)×781mm(H)×357mm(D) 突起物を除く
重量[kg] 30
拡張機能 【オプション】
・放射照度の変更(20以下に変更する)
・露光マスク対応(マスクホルダー及び試料トレーの追加)
【カスタム】
・試料寸法の変更(照射範囲も変更されるためカスタム対応)
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