- フォトリソグラフィ工程における簡易露光焼付装置
- 卓上型・一体型のため省スペース
- カラー液晶と十字キーを装備
- 照射時間を正確に制御
【操作手順】
①電源を入れてランプを点灯
②ランプ安定後に、放射照度を調整・登録
③露光時間を設定
（放射照度×時間で露光量を表示）
④露光
時間露光の場合は自動でシャッター開閉
手動露光の場合は、露光量を見ながら手動でシャッター開閉
UV露光装置 UVL-3
| 品名 | UV EXPOSURE EQUIPMENT |
|---|---|
| 商品名 | UV露光装置 |
| 型式 | UVL-3 |
| 光源 | 超高圧水銀ランプ 250W |
| 放射照度[mW/㎠] | 常用：20 - 22 最大：24 |
| 照度面(WxH)[mm] | 照射範囲：φ155 有効：φ113 mm |
| 照度ムラ[± %] | 有効面内にて 8 |
| 表示・操作 | ・本体操作 ・外部通信制御 |
| 露光時間 | 0.1 - 99.9 (最大99時間) |
| 試料台 | 固定式・平面微調機構付き |
| 試料サイズ[mm x mm] | 100 x 100 |
| 通信I/F | コネクター：USB 2.0 Type-B 通信：仮想COMポートによるUART |
| 電源電圧 | AC100V 50/60Hz |
| 消費電力[VA] | 450 |
| 動作環境 | ・温度 : 5 - 35[℃]・湿度 : 80[％]以下 但し、結露なきこと |
| 寸法(WxHxD)[mm] | 422.5mm(W)×781mm(H)×357mm(D) 突起物を除く |
| 重量[kg] | 30 |
| 拡張機能 | 【オプション】 ・放射照度の変更（20以下に変更する） ・露光マスク対応（マスクホルダー及び試料トレーの追加） 【カスタム】 ・試料寸法の変更（照射範囲も変更されるためカスタム対応） |
