| 型式 |
CMS-1 |
| 対応OS |
Microsoft Windows 10 |
| 移動範囲[mm] |
X軸：±25[mm] ，Y軸：±25[mm] ，Z軸：±10[mm] Yaw軸[RH]：±45[deg] 、 Pitch軸[RV]：±35[deg] |
| 移動分解能[μm] |
X軸：6μ m，Y軸：6μ m，Z軸：10μ mYaw軸[RH]： 0.2[deg]、 Pitch軸[RV]： 0.2[deg] |
| 耐荷重[kg] |
2.0 |
| 試料台 |
最大ワーク寸法：250 x 150 x 150 [mm] |
| 通信I/F |
USB 2.0 Type-Bコネクタ |
| 電源電圧 |
AC100V 50/60[Hz] |
| 消費電力[VA] |
100 (PC除く) |
| 動作環境 |
[気温] 5 - 40 [℃][湿度] 80%以下 結露無き事 |
| 寸法(WxHxD)[mm] |
ステージ本体： 300(W)ｘ400(D)ｘ550(H) XYZ コントロールボックス： 200(W)ｘ200(D)ｘ145(H) RH,RV コントロールボックス： 200(W)ｘ200(D)ｘ145(H) |
| 重量[kg] |
ステージ本体：約16.0XYZコントロールボックス： 約3.0RH,RVコントロールボックス： 約2.9 |
| 付属品 |
・緊急停止ボタン |
| 拡張機能 |
・DLLファイルの提供・ステージの変更 |
