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平行度を保証したUV露光装置 フォトリソグラフィー向け

平行度を保証し、高強度で露光焼き付けが行える
UV露光装置の販売を開始しました。

  • 超高圧水銀ランプ 2kW搭載
  • マスクの平面出し、ガラスとのギャップ調整可能
  • 平行度を保証した照射光で高精度にマスク露光


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